Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＬＳＩ］〜エルピーダが広島の新３００ｍｍラインに 米ＶＳＥＡのイオン打ち込み装置を搬入
日経マイクロデバイス 第244号 2005.10.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第244号（2005.10.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全207字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （265kb） |
| 雑誌掲載位置 | 93ページ目 |
イオン打ち込み装置大手の米Ｖａｒｉａｎ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ Ａｓｓｏｃｉａｔｅｓ， Ｉｎｃ．（ＶＳＥＡ）は，エルピーダメモリから１０台以上の枚葉式イオン打ち込み装置を受注した。このうち複数台が，２００５年１２月の稼働を控える広島エルピーダメモリ敷地内の新３００ｍｍウエーハ対応ラインおよび既存の３００ｍｍ対応ラインに搬入済みである。残りは今後数カ月以内に搬入する。（８月…
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