Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＬＳＩ］〜東芝，「Ｆａｂ３」フル稼働 フラッシュの生産能力増強へ
日経マイクロデバイス 第244号 2005.10.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第244号（2005.10.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全253字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （265kb） |
| 雑誌掲載位置 | 93ページ目 |
東芝が，ＮＡＮＤ型フラッシュ・メモリーの生産能力を２００７年度以降に増強する。三重県四日市にある最新鋭工場「Ｆａｂ３」に製造装置を新規に導入し，３００ｍｍウエーハを１０万枚／月で量産する。製造装置はＦａｂ３のクリーン・ルーム面積の約半分に２００６年中に導入して，早期に４万枚／月以上の生産能力を確保する。その上で，Ｆａｂ３の残り半分にも製造装置を導入する。Ｆａｂ３の残り半分では，装置の配置レイアウ…
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