Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＬＳＩ］〜宮城県沖地震 半導体生産ラインへの影響は軽微 過去の教訓から耐震強化
日経マイクロデバイス 第244号 2005.10.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第244号（2005.10.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全337字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （265kb） |
| 雑誌掲載位置 | 92ページ目 |
８月１６日に起きた宮城県沖の地震で，半導体工場では生産ラインの一時停止が相次いだ。しかし，２００３年に東北地方で起きた地震の教訓から耐震強化をしていたケースが多く，深刻な影響は出ていない。宮城沖電気では，地震発生後にラインが自動停止したほか，仕掛かり中のウエーハに一部破損が生じた。装置の破損や人的被害はなかった。同工場は，２００３年の５月と７月に東北地方で起きた地震で拡散炉の石英ガラスが割れるな…
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