Cover Story 第2部 デバイス・イノベーション 第2部 デバイス技術〜演算・記憶●DRAM セル・トランジスタを3次元化 携帯機器市場で需要を拡大
日経マイクロデバイス 第241号 2005.7.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第241号(2005.7.1) |
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ページ数 | 2ページ (全2000字) |
形式 | PDFファイル形式 (189kb) |
雑誌掲載位置 | 98〜99ページ目 |
Ki−Nam Kim韓国Samsung Electronics Co., Ltd. ATD Team Semiconductor R&D Center 2010〜2020年の「DRAM」におけるイノベーションは,セル・トランジスタの3次元化である(図1)本誌注1)。これにより,微細化に伴って生じるリーク電流やデータ保持特性の劣化を抑制し,メモリーとしての性能向上を持続する。ハーフ・ピッチ50nm…
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