ＷＥＢ Ａｃｃｅｓｓ Ｒａｎｋｉｎｇ［ＬＳＩ］〜日立金属のＭＥＭＳ加速度センサー １５０ｍｍＳＯＩウエーハでの取れ数
日経マイクロデバイス 第239号 2005.5.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第239号（2005.5.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全246字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （50kb） |
| 雑誌掲載位置 | 87ページ目 |
日立金属が開発した高さ０．９２ｍｍの３軸加速度センサーは，１５０ｍｍウエーハを使って製造する。センサー部分の面積は「１．５ｍｍ角前後」（同社）と小さくしており，取れ数を多くして低コスト化を図っている。センサー部の大きさを１．５ｍｍ角と小さくしたことで，一般的な寸法の２ｍｍ角のデバイスを１００ｍｍウエーハで製造した場合と比べれば，同じ歩留まりなら取れ数は４倍になる。歩留まりを仮に１００％とすると，…
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