ＷＥＢ　Ａｃｃｅｓｓ　Ｒａｎｋｉｎｇ［ＬＳＩ］〜米Ｂｅｌｌ研の軍用の新構造Ｓｉマイク　車内の音声認識向け狙う
日経マイクロデバイス　第239号　2005.5.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第239号（2005.5.1）
ページ数	1ページ　（全386字）
形式	PDFファイル形式　（50kb）
雑誌掲載位置	87ページ目

　米国の先端技術を日本企業に紹介しているＴ．Ｗ．Ｊ．は，４月開催の「センサ総合展２００５」で，米Ｌｕｃｅｎｔ　ＴｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓのＢｅｌｌ　Ｌａｂｓ（Ｂｅｌｌ研）がＭＥＭＳ技術を使って開発した複数のデバイスを紹介した。Ｓｉの音圧センサーを使ったマイクロフォンは，表面マイクロマシニング技術を使いながら，立体構造を構成した点が特徴である。現在は軍事用途に使われているという。Ｔ．Ｗ．Ｊ．は，Ｓｉマ…