ＷＥＢ Ａｃｃｅｓｓ Ｒａｎｋｉｎｇ［ＬＳＩ］〜フジクラの圧力センサー 自動車向けＭＥＭＳセンサー市場に本格参入
日経マイクロデバイス 第239号 2005.5.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第239号（2005.5.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全350字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （50kb） |
| 雑誌掲載位置 | 86ページ目 |
フジクラは，自動車向けのセンサー事業に本格参入する。同社が１９９０年代から製品化してきた薄膜方式の圧力センサー技術をエンジン制御の電子燃料噴射（ＥＦＩ）システム向けに展開していく。フジクラは，これまでＳｉ基板をエッチングで深掘りするＭＥＭＳ技術でダイアフラム（薄膜）を形成し，これを使った圧力センサーを製品化してきた。今回，ほぼすべての車種が使用するＥＦＩシステム向けの新製品を開発し，積極的な販売…
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