Special Feature つくばへの手紙,米国「Albany NanoTech」が狙う〜SEMATECH● EUVの開発を加速
日経マイクロデバイス 第239号 2005.5.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第239号(2005.5.1) |
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ページ数 | 1ページ (全857字) |
形式 | PDFファイル形式 (609kb) |
雑誌掲載位置 | 53ページ目 |
Dave Krick 氏International SEMATECHEUV MBDC Program Manager 「Albany NanoTech(ANT)」プロジェクトに参加する理由は主に二つある。ニューヨーク州からの優遇制度があることも含めてState University of New York(SUNY)の持つ研究環境が優れていること,これまで共同開発を進めてきた米IBM Corp.の…
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