Ｋｅｙ　Ｗｏｒｄ　今月のキー・ワード〜『ナノインプリント』
日経マイクロデバイス　第239号　2005.5.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第239号（2005.5.1）
ページ数	1ページ　（全942字）
形式	PDFファイル形式　（35kb）
雑誌掲載位置	11ページ目

　従来の露光装置を使わずに，原版を基板に押し当てることで微細加工を実現する「ナノインプリント」と呼ぶ技術を，ＬＳＩの量産に使おうとする動きが出てきた。これまでは光学部品の加工などに使われており，ＬＳＩに応用することは難しいと考えられていた。ここへ来て，米Ｍｏｔｏｒｏｌａ，　Ｉｎｃ．や大手メモリー・メーカーは，原版と基板を直接接触させずにナノインプリントを実現する米Ｍｏｌｅｃｕｌａｒ　Ｉｍｐｒｉｎｔ…