ＷＥＢ　Ａｃｃｅｓｓ　Ｒａｎｋｉｎｇ［ＬＳＩ］〜ＮＥＣ，Ｓｉ製フォトダイオードを開発　光信号を電気信号に高速変換
日経マイクロデバイス　第238号　2005.4.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第238号（2005.4.1）
ページ数	1ページ　（全385字）
形式	PDFファイル形式　（52kb）
雑誌掲載位置	107ページ目

　ＮＥＣは，光信号を電気信号に高速変換できるＳｉ製のフォトダイオードを開発し，「国際ナノテクノロジー総合展・技術会議（ｎａｎｏ　ｔｅｃｈ　２００５）」に出展した。Ｓｉ製にしたことで，光通信システムを小型・低コスト化できるほか，将来はＬＳＩ内部の光配線にも応用できるという。Ｓｉ製のフォトダイオードは感度を高めることが難しいが，今回はセンサー上部にＡｇ製のアンテナを設け，「表面プラズモン共鳴」と呼ぶ現…