Ｒｅｐｏｒｔ［ＬＳＩ］〜東芝が２００７年にウエーハ面積２倍　それでも需要に追いつかないＮＡＮＤ
日経マイクロデバイス　第238号　2005.4.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第238号（2005.4.1）
ページ数	2ページ　（全2199字）
形式	PDFファイル形式　（94kb）
雑誌掲載位置	97〜98ページ目

　東芝が，四日市工場の新製造ライン「Ｆａｂ３」を稼働させ，２００７年のＮＡＮＤ型フラッシュ・メモリーの量産規模をウエーハ面積で現在の２倍にする計画を明らかにした（図１）。　新設したＦａｂ３は２層構造として敷地を節約し，次の工場“Ｆａｂ４”を建設できるスペースを確保している。５階建てであり，１〜２階の下層，４〜５階の上層の２層に分かれる。３階は「メガトラス」と呼ぶ斜め柱で上層を支える構造を採用した。…