Special Feature 次のプロセス・シナリオは,寸法では決まらない〜有機半導体● 全工程が印刷で移動度0.17cm2/Vsを達成
日経マイクロデバイス 第236号 2005.2.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第236号(2005.2.1) |
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ページ数 | 2ページ (全3047字) |
形式 | PDFファイル形式 (67kb) |
雑誌掲載位置 | 70〜71ページ目 |
染谷 隆夫東京大学工学系研究科 印刷プロセスで形成する有機トランジスタや,印刷対応の有機半導体材料が,「2004 International Electron Devices Meeting(2004 IEDM)」で続々と報告された。2003年のIEDMでは,真空プロセスで成膜するp型の有機半導体である「ペンタセン」が主流だった。面積の大きな回路を作る場合,有機半導体は印刷やロール・ツー・ロールを…
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