Ｉｎｓｉｄｅ Ｎｅｗ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ ＭＥＭＳアプリケーション（３）〜ＭＥＭＳアプリケーション（３） ＭＥＭＳで光デバイスを安くする 顕微鏡から光通信へ
日経マイクロデバイス 第236号 2005.2.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第236号（2005.2.1） |
|---|---|
| ページ数 | 6ページ （全4500字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （164kb） |
| 雑誌掲載位置 | 79〜84ページ目 |
太田 亮オリンパス研究開発センターＭＥＭＳ開発本部 ＭＥＭＳ事業推進部プロセス開発グループ光ファイバによるインターネット通信サービスの普及によって，低コストの光通信デバイスに対するニーズが高まってきた。それを支えるコア技術が光ＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）である。ＭＥＭＳ技術による大幅な小型化によって材料コストを削減し，低コスト化を実現する。今は光通信…
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