Ｓｐｅｃｉａｌ Ｆｅａｔｕｒｅ〜液浸露光技術を 量産向け装置に導入
日経マイクロデバイス 第234号 2004.12.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第234号（2004.12.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全788字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （214kb） |
| 雑誌掲載位置 | 117ページ目 |
苅谷 道郎 氏取締役副社長 精機カンパニープレジデント ２００５年の最も重要な取り組みとなるのは，量産向け液浸露光装置の製品化である。年後半に開口数（ＮＡ）が１を超える装置を出荷する。ＮＡが１より小さい装置を製品化するつもりはない。ＮＡが１を超える領域でこそ，液浸の真価を発揮できると考えるからだ。２００６年の後半には，ＮＡが１．３の量産装置を製品化する予定である。 ２００４年は，液浸技術で最大の成…
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