Ｓｐｅｃｉａｌ Ｆｅａｔｕｒｅ〜液浸露光の装置化で先行 日本市場の強化目指す
日経マイクロデバイス 第234号 2004.12.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第234号（2004.12.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全840字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （214kb） |
| 雑誌掲載位置 | 117ページ目 |
Ｐａｕｌ ｖａｎ Ａｔｔｅｋｕｍ 氏Ｓｅｎｉｏｒ Ｖｉｃｅ Ｐｒｅｓｉｄｅｎｔ， Ｍａｒｋｅｔｉｎｇ ＆ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ ２００５年は，開発を進めてきた液浸露光技術をいよいよ量産装置に導入する。２００５年の早い時期に液浸対応の量産向け露光装置を出荷する。開口数（ＮＡ）は０．９３で，６５ｎｍの量産と４５ｎｍの開発向けである。ＮＡを１以上に上げてから出荷する競合他社と比べ，われわれは１年程度先行…
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Ｓｐｅｃｉａｌ Ｆｅａｔｕｒｅ〜３００ｍｍ対応の需要は強い サービス事業を強化
Ｓｐｅｃｉａｌ Ｆｅａｔｕｒｅ〜４５ｎｍ対応の装置技術 製品化につなげる
Ｓｐｅｃｉａｌ Ｆｅａｔｕｒｅ〜液浸露光技術を 量産向け装置に導入
Ｓｐｅｃｉａｌ Ｆｅａｔｕｒｅ〜６５〜４５ｎｍ対応に向け 最先端検査技術を提供
Ｓｐｅｃｉａｌ Ｆｅａｔｕｒｅ〜工期の短縮とサービス力で 露光装置の差異化図る
