Ｉｎｓｉｄｅ Ｍｅｍｏｒｙ 囲み〜露光装置も提案型ビジネスへ 第１弾が液浸ＡｒＦ
日経マイクロデバイス 第226号 2004.4.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第226号（2004.4.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全553字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （330kb） |
| 雑誌掲載位置 | 80ページ目 |
苅谷 道郎 氏ニコン専務取締役 兼上席執行役員精機カンパニープレジデント 露光装置メーカーは今後，提案型のビジネスに移行していく必要がある。これまでのような「国際半導体技術ロードマップ」に沿ったビジネスだけでは生き残れない。ロードマップに振り回されず，ユーザーにとって最適な露光技術を自ら提案していくことが重要になる。そうした提案の第１弾が，液浸ＡｒＦ露光技術である。 われわれは，液浸ＡｒＦ露光技術…
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