ＷＥＢ Ａｃｃｅｓｓ Ｒａｎｋｉｎｇ［Ｍｅｍｏｒｙ］〜米Ｉｎｔｅｌのメモリー責任者が 「露光技術に依存しないメモリー」 など 新概念メモリーの姿を提言
日経マイクロデバイス 第224号 2004.2.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第224号（2004.2.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全467字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （124kb） |
| 雑誌掲載位置 | 85ページ目 |
米Ｉｎｔｅｌ Ｃｏｒｐ．のＳｔｅｆａｎ Ｋ． Ｌａｉ氏は，『ＮＩＫＫＥＩ ＭＩＣＲＯＤＥＶＩＣＥＳ』主催の「第２回半導体メモリー・シンポジウム」で，「Ｒｅｃｅｎｔ Ｔｒｅｎｄ ｏｆ ＮＶＭ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ」と題する基調講演を行った。メモリーの微細化を推し進めていく上で，露光技術の限界を意識することが今後はますます重要になるとの見通しを示した。同氏は，ＬＳＩの微細化をけん引しているのはフ…
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