ＷＥＢ Ａｃｃｅｓｓ Ｒａｎｋｉｎｇ［Ｌｏｇｉｃ］〜ＮＥＣとＮＥＣエレ ５ｎｍトランジスタの 動作に成功
日経マイクロデバイス 第224号 2004.2.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第224号（2004.2.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全405字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （125kb） |
| 雑誌掲載位置 | 83ページ目 |
ＮＥＣとＮＥＣエレクトロニクスは，ゲート長が５ｎｍのトランジスタの動作に成功したと「２００３ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｄｅｖｉｃｅｓ Ｍｅｅｔｉｎｇ（２００３ ＩＥＤＭ）」で発表した。ゲート下端をすぼめてゲート長を短くした。発表者が断っている通り，ここまで微細にしても動作することを示す目的で開発したのであり，諸特性は満足できるレベルにはない。ゲート長を短くする目的は，多くの…
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