Ｃｏｖｅｒ Ｓｔｏｒｙ Ｐａｒｔ３ 囲み〜全体管理のスケジューラ 個別管理のディスパッチャ
日経マイクロデバイス 第222号 2003.12.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第222号（2003.12.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全1243字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （161kb） |
| 雑誌掲載位置 | 117ページ目 |
仕掛かりウエーハ（ｗａｆｅｒ ｉｎ ｐｒｏｃｅｓｓ：ＷＩＰ）を制御するソフトウェアには大きく分けて二つある。スケジューラとディスパッチャである。 スケジューラとは，ロットがクリーン・ルームに投入されてから出るまでの全体のロット進ちょくを管理するソフトウェアである（図Ａ）。一方ディスパッチャとは，処理待ちロットの装置に割り当てる処理を行うソフトウェア・モジュールを指す。 一般的なＬＳＩ製造では，ロ…
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