Ｃｏｖｅｒ Ｓｔｏｒｙ Ｐａｒｔ３〜ＡＳ対応で製造装置の変曲点 標準化から多様化
日経マイクロデバイス 第222号 2003.12.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第222号（2003.12.1） |
|---|---|
| ページ数 | 5ページ （全4880字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （161kb） |
| 雑誌掲載位置 | 112〜116ページ目 |
アプリケーション・スペシフィック（ＡＳ）工場に適した製造装置やＣＩＭの開発に拍車がかかってきた。これまでは，工場仕様が単一だったために製造装置やＣＩＭへの要求が同じであり，それに合わせて標準化する方向に進んできた。今後は工場がアプリケーション・スペシフィック（ＡＳ）になるのに合わせて，要求仕様が多様化していく。具体的には，ＡＳ工場の要求項目のうち多段階投資対応とＴＡＴ追求，効率追求に向けた製造装置…
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