Ｒｅｐｏｒｔ［Ｍｅｍｏｒｙ］〜塗布・現像装置 ＴＥＬとＤＮＳの一騎打ちへ
日経マイクロデバイス 第218号 2003.8.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第218号（2003.8.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全1185字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （57kb） |
| 雑誌掲載位置 | 115ページ目 |
今後のＬＳＩメーカーの塗布・現像装置に対する選択は，スループットに対する考え方が基準になる。７月１４〜１８日に米国サンフランシスコで開かれた「ＳＥＭＩＣＯＮ Ｗｅｓｔ ２００３」で登場した塗布・現像装置の新製品の傾向から，このような方向性が見えた。 塗布・現像装置市場は現在，東京エレクトロン（ＴＥＬ）の独占状況にある。主だった競合メーカーのうち，大日本スクリーン製造（ＤＮＳ）は新製品の端境期に当…
記事の購入（ダウンロード）
購入には会員登録が必要です 会員登録はこちら
価格 330円（税込）
他のIDで購入する
G-Search ミッケ！は雑誌を記事ごとに販売するサービスです。
この記事は「1ページ（全1185字）」です。ご購入の前に記事の内容と文字数をお確かめください。
（注）特集のトビラ、タイトルページなど、図案が中心のページもございます。
Ｒｅｐｏｒｔ［Ｌｏｇｉｃ］〜レーザー・アニールは量産に使えるか？ ９０〜２０ｎｍノードの浅い接合を形成
Ｒｅｐｏｒｔ［Ｍｅｍｏｒｙ］〜１．１Ｖ動作の１８０ｎｍ混載ＦｅＲＡＭ 既存ロジック・プロセスで製造可能に
Ｒｅｐｏｒｔ［Ｄｉｓｐｌａｙ］〜ゲート長０．５μｍのｐ−Ｓｉ ＴＦＴが登場回路形成のための微細化技術に本腰
Ｒｅｐｏｒｔ［Ｄｉｓｐｌａｙ］〜フィールド・シーケンシャル液晶を 初めて実用化，携帯電話機向けに投入
Ｒｅｐｏｒｔ［Ｄｉｓｐｌａｙ］〜「コンテンツの増加とともに ディスプレイの用途は無限大」
