Ｅｍｅｒｇｉｎｇ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ〜フラッシュ・メモリーに匹敵する新市場へ 半導体技術を応用するバイオＭＥＭＳ
日経マイクロデバイス 第218号 2003.8.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第218号（2003.8.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全1058字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （70kb） |
| 雑誌掲載位置 | 5ページ目 |
半導体の微細加工技術の応用先として大きな期待を集めるバイオＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）が，約１兆円のフラッシュ・メモリーに匹敵する市場に成長する可能性が出てきた。バイオＭＥＭＳの適用範囲を現状に対して大きく広げる検査チップを日立製作所が開発したからである。現在，バイオＭＥＭＳは製薬会社の研究所で使われるＤＮＡチップが主流であり，市場規模は３００億円…
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