国立財知のＩＰウォッチャ〜「ファブレス」から「マスクレス」へ
日経マイクロデバイス　第216号　2003.6.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第216号（2003.6.1）
ページ数	1ページ　（全1209字）
形式	PDFファイル形式　（123kb）
雑誌掲載位置	128ページ目

　電子ビーム（ＥＢ）露光技術に注目が集まっている。少量多品種のシステムＬＳＩを実現する低コスト露光技術として，「ＥＢ露光がカギを握る」という期待が急速に高まっている。ＥＢは基礎技術であり，応用の多様性が期待できる。　このＥＢは，技術を改革させるにとどまらない。半導体産業の構造を「マスクレス」産業構造へ変革する技術ドライバとして位置付けられる。現在の半導体産業は米国中心のファブレス−フォウンドリ・モ…