μレポート［ＬＳＩ製造］〜ＳＲＡＭを６日で作る ライン成果をＴＴＩが明らかに カギは枚葉式と高速搬送
日経マイクロデバイス 第210号 2002.12.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第210号（2002.12.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全945字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （119kb） |
| 雑誌掲載位置 | 53ページ目 |
工場ＳＲＡＭ搬送ＳＲＡＭを従来比１／４の５．７８日で製造する。このようなラインが，量産ベースで稼働している。トレセンティテクノロジーズ（ＴＴＩ）が，３００ｍｍウエーハ工場の成果を明らかにした。 ＴＴＩは，２００１年１２月に量産を始めた本社工場で，２５枚のマスクを使う０．１８μｍプロセスのＳＲＡＭを５．７８日間で量産できたとする（図１）。マスク１枚当たり５．５５時間というスピードを達成した。短ＴＡＴ…
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