解説［ＬＳＩ製造］ 囲み２〜低加速ＥＢ直描装置の新会社を ＴＥＬ，荏原，ＤＮＳが合弁で設立
日経マイクロデバイス 第208号 2002.10.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第208号（2002.10.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全1295字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （286kb） |
| 雑誌掲載位置 | 123ページ目 |
東京エレクトロン（ＴＥＬ），荏原製作所，大日本スクリーン製造（ＤＮＳ）の３社が，合弁会社「イービーム（仮称）」を２００２年９月末に設立することで合意した。５ｋｅＶ以下と低加速のマスクレス電子ビーム（ＥＢ）直描装置の開発・製造・販売を目的した新会社である。新会社の発足当初の資本金は４億５千万円であり，ＴＥＬが４０％，荏原が４０％，ＤＮＳが２０％を出資する。代表取締役社長には現在荏原の古川博氏が就任…
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