解説［ＬＳＩ製造］〜ＥＢが設計，製造，材料， 工場運営を変える
日経マイクロデバイス 第208号 2002.10.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第208号（2002.10.1） |
|---|---|
| ページ数 | 10ページ （全7937字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （286kb） |
| 雑誌掲載位置 | 119〜128ページ目 |
露光検査・分析電子ビーム電子ビーム（ＥＢ）技術が，設計，製造，材料，工場運営など，ＬＳＩのあらゆる領域を変えていく。このような方向が明確に見えてきた。ＥＢ技術自体はこれまでも検査工程などに使われてきたが，０．１μｍ以降はプロセスと検査で適用範囲が急速に拡大するからである。先行メーカーの動きが急展開し始めた。製造装置各社によるＥＢ露光装置の開発が進み，低加速のＥＢ技術を実用化する新会社も発足した。１…
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