μレポート[LSI製造]〜10nmトランジスタや 65nmプロセスが登場する 「2002 IEDM」
日経マイクロデバイス 第208号 2002.10.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第208号(2002.10.1) |
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ページ数 | 1ページ (全2032字) |
形式 | PDFファイル形式 (98kb) |
雑誌掲載位置 | 34ページ目 |
トランジスタメモリー微細化ゲート長10nmと最短のフィン型トランジスタや65nmのDRAM混載技術。新型メモリー開発の激化を反映した二つのメモリー・セッションの新設。2002年12月8日〜11日に米国サンフランシスコで開かれる「2002 International Electron Devices Meeting(2002)」は,ロジックとメモリーの両方で注目の発表が目白押しだ。プレナリ・セッショ…
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