μレポート［ＬＳＩ製造］〜多品種生産対応のＡＰＣを Ｓｉファウンドリが発表 台湾が躍進する「ＩＳＳＭ２００２」
日経マイクロデバイス 第208号 2002.10.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第208号（2002.10.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全1767字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （79kb） |
| 雑誌掲載位置 | 39ページ目 |
工場生産性歩留まり多品種生産に対応したＡＰＣ （ａｄｖａｎｃｅ ｐｒｏｃｅｓｓ ｃｏｎｔｒｏｌ）技術や，Ｂを利用した１４ｎｍの浅い接合など，生産・製造技術の進展が著しい。これらが１０月に東京で開かれる「Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ ｏｎ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｍａｎｕ ｆａｃｔｕｒｉｎｇ（ＩＳＳＭ２００２）」の見所になる。 今回のＩＳＳＭ２００２には２２０件の論文投稿があり…
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