技術レター［ＬＳＩ製造］〜ＤＮＳの牙城に挑む 新製品が相次いだ 「ＳＥＭＩＣＯＮ Ｗｅｓｔ ２００２」
日経マイクロデバイス 第207号 2002.9.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第207号（2002.9.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全420字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （63kb） |
| 雑誌掲載位置 | 45ページ目 |
製造装置洗浄装置展示会 洗浄装置市場で競争が激化している。このことを反映した装置が「ＳＥＭＩＣＯＮ Ｗｅｓｔ ２００２」に相次ぎ登場した。これまでの洗浄装置はウエット・ベンチ式が主流であり，大日本スクリーン製造（ＤＮＳ）が圧倒的なシェアを誇っていた。このシェアを各社が奪おうと狙っている。米Ａｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ， Ｉｎｃ．（ＡＭＡＴ）はスピン・プロセサ式の洗浄装置を，米ＦＳＩ Ｉｎｔｅ…
記事の購入（ダウンロード）
購入には会員登録が必要です 会員登録はこちら
価格 330円（税込）
他のIDで購入する
G-Search ミッケ！は雑誌を記事ごとに販売するサービスです。
この記事は「1ページ（全420字）」です。ご購入の前に記事の内容と文字数をお確かめください。
（注）特集のトビラ、タイトルページなど、図案が中心のページもございます。
技術レター［ＬＳＩ設計］〜ギガ・レベルの機能を 集積した通信用ＬＳＩ 米Ｍｏｔｏｒｏｌａが開発
技術レター［ＬＳＩ設計］〜東芝がディジタル放送 受信機向けシステムＬＳＩに 「ＭｅＰ」を組み込む
技術レター［ＬＳＩ製造］〜米Ｉｎｔｅｌの９０ｎｍ技術 独自方式の歪みＳｉと ＳｉＯＣ系ｌｏｗ−ｋ膜を導入
技術レター［ＬＳＩ製造］〜次世代半導体材料の 開発を効率化する プロジェクトを始動
技術レター［ＬＳＩ製造］〜米ＩＢＭと米Ｎｉｏｎ 解像度が０．０７５ｎｍの 電子顕微鏡を開発
