解説［ＬＳＩ製造］〜独Ｉｎｆｉｎｅｏｎの ３００ｍｍ量産ラインの全貌
日経マイクロデバイス 第200号 2002.2.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第200号（2002.2.1） |
|---|---|
| ページ数 | 7ページ （全8532字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （306kb） |
| 雑誌掲載位置 | 115〜121ページ目 |
工場大口径化ＤＲＡＭ独Ｉｎｆｉｎｅｏｎ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ ＡＧ．が，ドイツのドレスデンに建設した３００ｍｍウエーハ量産ラインの全貌を明らかにした。同ラインは大量生産による低コスト化を前提にしたラインであり，２万５０００枚／月のフル稼働時には，チップ・コストを２００ｍｍウエーハによる量産に対して３０％削減できるとする。同社Ｐｒｅｓｉｄｅｎｔ ａｎｄ ＣＥＯのＵｌｒｉｃｈ Ｓｃｈｕｍａｃｈｅｒ…
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