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日経マイクロデバイス　第191号　2001.5.1

ＬＳＩ製造■「ＳＰ−１２００」　現像後のレジスト線幅を均一に縮小する装置（図１）。一般にマイクロプロセサなどの高速チップではトランジスタのゲート長だけを縮小して高速化する手法が使われている。これまでは現像後のレジストにプラズマ・アッシング処理を加えて線幅を細くしていた。しかし，アッシングは元々レジスト除去が目的であるため，均一に削ることが難しかった。今回は，プラズマを使わずにオゾン・ガスによる化学…