連載［マニュファクチャリング］〜装置状態のチェック技術で　システムＬＳＩを確実に作る
日経マイクロデバイス　第191号　2001.5.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第191号（2001.5.1）
ページ数	6ページ　（全7159字）
形式	PDFファイル形式　（222kb）
雑誌掲載位置	154〜159ページ目

システムＬＳＩ製造製造装置システムＬＳＩ時代を勝ち抜いていくためには，「速さ」と「確実さ」を向上させる必要がある。２回目の今回は，そのための製造装置の状態を観測する二つの新技術を述べる。一つは，製造装置内でのパーティクルをその場で観測する手法である。パーティクル・フリーを実現し，歩留まり低下を防止する施策立案，効果検証に有効である。もう一つは，コンタクトあるいはビアのエッチング装置の状態を，ウエー…