特集１ Ｐａｒｔ３〜縦型トランジスタの６Ｆ２セル 独Ｉｎｆｉｎｅｏｎは２００３年から実用化
日経マイクロデバイス 第188号 2001.2.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第188号（2001.2.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全844字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （174kb） |
| 雑誌掲載位置 | 65ページ目 |
今回開発した縦型トランジスタを使った６Ｆ２セルを，独Ｉｎｆｉｎｅｏｎ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ ＡＧ．と米ＩＢＭ Ｃｏｒｐ．はいずれも２００３年から実用化していく。Ｉｎｆｉｎｅｏｎは設計ルール０．０９μｍから，ＩＢＭは０．１１μｍから使う計画である。当面は従来セルで３００ｍｍ このうちＩｎｆｉｎｅｏｎに関しては，同社Ｓｅｎｉｏｒ Ｖｉｃｅ Ｐｒｅｓｉｄｅｎｔ ＆ Ｇｅｎｅｒａｌ Ｍａｎａｇｅｒ，…
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