特集 Ｐａｒｔ３〜技術革新の世紀へ 第一歩を踏み出す
日経マイクロデバイス 第186号 2000.12.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第186号（2000.12.1） |
|---|---|
| ページ数 | 6ページ （全7314字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （128kb） |
| 雑誌掲載位置 | 172〜177ページ目 |
製造装置 技術開発 戦略「微細化＋α」の製造技術が２００１年から本格的に必要になる。こうした認識が大手ＬＳＩ製造装置メーカーから出てきた。製造技術を量産ベースで動かす装置大手がこのような認識を持つことの意味は大きい。「微細化＋α」に相当する革新的な技術を遠い将来のアイデアとしてではなく，目前のビジネスにつながる芽としてとらえている。大手装置メーカーの経営トップへのインタビューから，このような方向が…
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