特集 Ｐａｒｔ１〜「＋α」技術の芽が続出 育む土壌の強化へ
日経マイクロデバイス 第186号 2000.12.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第186号（2000.12.1） |
|---|---|
| ページ数 | 6ページ （全5794字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （127kb） |
| 雑誌掲載位置 | 158〜163ページ目 |
ＬＳＩ製造 システムＬＳＩ 微細化「微細化＋α」というコンセプトを持つ新しいＬＳＩ製造技術の芽が続出している。これまでの「微細化万能」という考えを捨て「＋α」という次元の異なる視点を導入する。これによって製造技術の付加価値を高め，世界をリードすることを狙う。こうした動きが出てきた背景にはアプリケーションの変化や微細化自体が困難になってきたことがある。「微細化＋α」の動きを後押しするように技術の芽を…
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特集 とびら〜「微細化＋α」で世界をリード
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新製品ファイル〜新製品ファイル
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