μレポート［ＬＳＩ製造］〜エッチングやＣＶＤの 反応機構解明に朗報 ガスを分解せずに測定
日経マイクロデバイス 第185号 2000.11.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第185号（2000.11.1） |
|---|---|
| ページ数 | 3ページ （全3156字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （243kb） |
| 雑誌掲載位置 | 69〜71ページ目 |
検査・分析エッチングＣＶＤエッチングやＣＶＤの反応機構の解明が一気に進む可能性が出てきた。従来は測定が困難だったエッチングやＣＶＤの反応種を精密分析できる装置が登場したからである。国立環境研究所化学環境部の上席研究官である藤井敏博氏が技術を開発，アネルバが装置化した。エッチングやＣＶＤの反応機構の解明が進めば，今後の０．１３μｍへの微細化や３００ｍｍへの大口径化に，容易に対応できるようになる。量産…
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