技術レター［ＬＳＩ製造］〜製造装置に検査機能を　組み込む動きが活発化　３００ｍｍ化がキッカケ
日経マイクロデバイス　第183号　2000.9.1

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掲載誌	日経マイクロデバイス　第183号（2000.9.1）
ページ数	1ページ　（全399字）
形式	PDFファイル形式　（25kb）
雑誌掲載位置	70ページ目

製造装置検査・分析大口径化　３００ｍｍウエーハへの大口径化をキッカケに，製造装置に検査機能を組み込む動きが活発化している。各工程の精密プロセス制御や製造装置の個別管理のため，従来から製造装置に検査機能を組み込むべきとの意見が出ていた。しかし，実現のためには装置を改良する必要があって進まなかった。これを，装置が一新する３００ｍｍ化に合わせて実現する動きが具体化してきた。米Ａｐｐｌｉｅｄ　Ｍａｔｅｒｉ…