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連載[LSI製造]〜21世紀を見すえた 新デバイス・新生産方式を提案
日経マイクロデバイス 第180号 2000.6.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第180号(2000.6.1) |
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ページ数 | 6ページ (全6498字) |
形式 | PDFファイル形式 (239kb) |
雑誌掲載位置 | 177〜182ページ目 |
21世紀を見すえ,LSIの新デバイス・新生産方式を東北大学大学院大見忠弘研究室が提案する。これからのLSIは,マイクロプロセサやDSPといったロジック回路とDRAMやフラッシュ・メモリーといったメモリー回路をすべて1チップ化したシステムLSIがデバイス技術・生産技術の両面でけん引役になっていく。こうしたシステムLSIは理論限界ぎりぎりに設計・製造することが不可欠になり,この実現には学問に裏付けられ…
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