Ｄｅｔａｉｌｓ ＬＳＩ（ロジック）〜サンプル出荷間近 生産体制整う 球状半導体
日経マイクロデバイス 第180号 2000.6.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第180号（2000.6.1） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全1992字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （82kb） |
| 雑誌掲載位置 | 173〜174ページ目 |
ＬＳＩプロセス露光技術ＣＭＯＳ球状半導体の生産体制が整ってきた。半導体に必要な基本プロセスである露光，成膜，加工，不純物導入の四つがすべて実現可能になった。このうち不純物導入に関しては，１９９９年にサンプル出荷を開始した太陽電池ですでに実績を示している。今回は残り三つの技術を確立し，それらを使った加速度センサーを６月中にも完成させるメドを立てた。 「本当に作れるのか」。ボール セミコンダクター社（…
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