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日経マイクロデバイス　第180号　2000.6.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第180号（2000.6.1）
ページ数	5ページ　（全4458字）
形式	PDFファイル形式　（94kb）
雑誌掲載位置	198〜202ページ目

■乾燥空気供給装置「ＣＤＡＳＳ−１００」　ＬＳＩ向けのクリーン・ルームで使う乾燥空気を従来比１／１０のコストで供給できる装置（図１）。一般に乾燥空気はウエーハ表面の自然酸化膜を抑制する目的でストッカなどに供給している。この時，使う空気の湿度は露点温度に換算して−１００℃以下と低いことが要求される。露点温度は，値が低いほど湿度が低いことを意味し，−１００℃とは通常空気の１００万分の１の湿度に当たる。…