時代を創る〜ダウンサイジングへ
日経マイクロデバイス 第180号 2000.6.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第180号（2000.6.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全1665字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （27kb） |
| 雑誌掲載位置 | 3ページ目 |
辻出 徹 氏ＮＥＣエレクトロンデバイス評価技術開発本部長「今後の半導体検査装置はダウンサイジングが必須」。ＮＥＣエレクトロンデバイスの評価技術開発本部長である辻出徹氏は，検査の今後の方向性をこのように見通す。現在の検査装置をコンピュータにおけるメインフレームに例え，パソコン（ＰＣ）のように低価格化と小型化を実現しなければならないとする。製造装置に組み込み，今後は集中型の検査システムを分散型に変えて…
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