Ｄｅｔａｉｌｓ ＬＳＩ（ロジック）〜急拡大するＣｕメッキ市場 １９９９年は前年比２倍へ
日経マイクロデバイス 第173号 1999.11.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第173号（1999.11.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全965字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （51kb） |
| 雑誌掲載位置 | 149ページ目 |
製造装置Ｃｕ配線市場Ｃｕメッキ装置の市場が急拡大しており，１９９９年は１９９８年の２倍の１２７．５億円になる。このような見通しが，１０月１５日に発行された「世界半導体製造装置・試験／検査装置市場年鑑２０００」から明らかになった。（望月 洋介＝本誌） ＬＳＩの微細化が進み，０．１８μｍからは大方のＬＳＩメーカーが配線技術にＣｕを使い始めている。主流はＣｕメッキ装置を使う方法である。例えばデュアル・ダ…
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