NewsLetter LSI(メモリー) LSI(メモリー)〜日本のLSIメーカーによる 局所クリーン化技術の 採用に弾み
日経マイクロデバイス 第172号 1999.10.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第172号(1999.10.1) |
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ページ数 | 1ページ (全363字) |
形式 | PDFファイル形式 (36kb) |
雑誌掲載位置 | 169ページ目 |
システムLSI工場製造装置 日本のLSIメーカーによる局所クリーン化技術の採用が今後広がりそうだ。ソニー・コンピュータエンタテインメント(SCE)が,「プレイステーション2」用グラフィックスLSIを量産する新ラインに米Asyst Technologies, Inc.の局所クリーン化技術である「SMIF(Standard Manufacturing Interface)ポッド」を導入する。SCEとA…
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