Details LCD〜低温多結晶Si−TFT 世界初の大型パネル 量産工場が稼働
日経マイクロデバイス 第170号 1999.8.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第170号(1999.8.1) |
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ページ数 | 3ページ (全2681字) |
形式 | PDFファイル形式 (120kb) |
雑誌掲載位置 | 200〜202ページ目 |
工場低温多結晶 SiTFTLCD世界初の大型低温多結晶Si−TFT液晶パネルの量産工場が稼働した。東芝は新棟「低温ポリシリコン大型液晶表示装置量産製造棟(NCR棟)」の竣工式を6月に開き,工場の全貌と今後の同社の計画を明らかにした。1期と2期の二つのラインを構築する計画で,今回稼働したのは1期ラインの半分の1万シート/月分である。ガラス基板寸法は3年前から取り組んできた試作ラインと同じ400×50…
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