新製品ファイル　Ｄ０２〜ＳＷ●０．１μｍルールまで使えるスパッタ
日経マイクロデバイス　第169号　1999.7.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第169号（1999.7.1）
ページ数	1ページ　（全215字）
形式	PDFファイル形式　（81kb）
雑誌掲載位置	156ページ目

（１）直径０．１μｍ，アスペクト比１０のホールを埋め込むことができるスパッタ。小口径のターゲットを複数使い，ターゲット間をシールドで分離することによってスパッタ粒子の直進性を高めた。東芝との共同開発である。（木村）（２）２０００年第１四半期（３）約７０００万円（１モジュールの価格）（４）日本真空技術（５）同　半導体・電子機器営業本部プロダクトマネージャーグループ，ＴＥＬ（０３）３５３５−６２３４（…