新製品ファイル　Ｄ０３〜ＳＷ●設置面積を約２／３にした塗布・現像装置
日経マイクロデバイス　第169号　1999.7.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第169号（1999.7.1）
ページ数	1ページ　（全235字）
形式	PDFファイル形式　（81kb）
雑誌掲載位置	156ページ目

（１）設置面積を従来の約２／３に削減した塗布・現像装置。設置面積を減らすために，ウエーハを水平方向に運ぶ方式から垂直方向に運ぶ方式に変えた。また，塗布前のウエーハにガスを吹き付けてレジストが均一に広がるようにし，レジストの使用量を１／３〜１／６に削減した。２００ｍｍウエーハ対応である。（木村）（２）１９９９年５月（３）１億５０００万〜３億５０００万円（４）大日本スクリーン製造（５）同　半導体機器営…