ＮｅｗｓＬｅｔｔｅｒ ＬＳＩ（メモリー）〜３００ｍｍウエーハ対応の 自動搬送系の評価を Ｓｅｌｅｔｅが推進
日経マイクロデバイス 第163号 1999.1.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第163号（1999.1.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全413字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （38kb） |
| 雑誌掲載位置 | 158ページ目 |
３００ｍｍウエーハ向けＬＳＩ製造装置の共同開発機関である半導体先端テクノロジーズ（Ｓｅｌｅｔｅ）は，３００ｍｍウエーハの自動搬送系の評価を進めると，１９９８年１２月１日に都内で開かれた「４ｔｈ Ｓｅｌｅｔｅ ３００ｍｍ Ｐｒｏｇｒａｍ Ｅｖａｌｕａｔｉｏｎ Ｐｒｏｇｒｅｓｓ Ａｎｎｏｕｎｃｅｍｅｎｔ」で報告した。各搬送装置の仕様がバラバラになること防ぐことが狙いである。すでにシミュレーションなど…
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