Ｅｍｅｒｇｉｎｇ　Ｔｅｃｈ　電子デバイス〜小型センサーをより小さく安く　ＭＥＭＳ新技術の提案が続々
日経エレクトロニクス　第1204号　2019.6.1

この記事の情報
掲載誌	日経エレクトロニクス　第1204号（2019.6.1）
ページ数	4ページ　（全6237字）
形式	PDFファイル形式　（1773kb）
雑誌掲載位置	61〜64ページ目

ＭＥＭＳ（微小電子機械システム）分野の旗艦学会「ＩＥＥＥ　ＭＥＭＳ　２０１９（Ｔｈｅ　３２ｎｄ　ＩＥＥＥ　Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ　Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ　ｏｎ　Ｍｉｃｒｏ　Ｅｌｅｃｔｒｏ　Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　Ｓｙｓｔｅｍｓ）」（２０１９年１月２７〜３１日、韓国ソウル）で、東北大学教授の田中秀治氏が注目した論文とそのインパクトを解説する。いずれもセンサーなどのデバイスの性能やコストを改善する可能…