解説１〜ナノインプリントに新風　大面積化で用途も拡大
日経エレクトロニクス　第1130号　2014.3.17

この記事の情報
掲載誌	日経エレクトロニクス　第1130号（2014.3.17）
ページ数	10ページ　（全10547字）
形式	PDFファイル形式　（3220kb）
雑誌掲載位置	49〜58ページ目

微細パターンを彫り込んだ判型を基板などにスタンプのように押すことでそのパターンを転写する技術「ナノインプリント」の実用化例が増えている。大面積の判型を低コストで作製する技術の開発が進んだことが背景にある。さまざまな新用途での実用化が始まり、半導体の微細加工への適用も視野に入りつつある。　あたかも印鑑やスタンプを押すように、微細パターンを彫り込んだ判型（モールド）を基板などに押し付けることでそのパタ…