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Selected Shorts〜セイコーエプソンがフレキ基板上に有機FeRAMを作製,±15Vで動作を確認
日経エレクトロニクス 第923号 2006.4.10
掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第923号(2006.4.10) |
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ページ数 | 1ページ (全401字) |
形式 | PDFファイル形式 (331kb) |
雑誌掲載位置 | 46ページ目 |
セイコーエプソンは,トランジスタ型有機FeRAM素子をフレキシブル基板上に作製し,不揮発性メモリとしての動作を確認したと発表した。(1)ポリカーボネート・フィルム上にAu/Crのソース/ドレイン電極を真空蒸着で形成,(2)有機半導体の「F8T2」をスピンコート法で成膜,(3)有機強誘電体の「P(VDF/TrFE)」をスピンコート法で塗布,(4)最後にAgインクを用いてインクジェット法でゲート電極…
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